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主题:【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其

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不是
家园 7nm一次曝光能做到?

Intel做10nm(相当于7nm)就要四次曝光了(SAQP),光刻机的波长在193停滞了十几年,直到EUV出来。如果一次曝光能搞定那成本就把EUV打死几次都够了。

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有趣有益,互惠互利;开阔视野,博采众长。
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