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主题:【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其

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家园 现在ASML 的EUV光刻机数值孔径0.33 -- 补充帖

理论光学聚集分辨率就是 20+ nm。。。

制造10纳米以下,必需要复杂的 pattern 干涉才行。。。

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