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主题:【讨论】发到河里来,让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子

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家园 唉,它这个错误我都不知道咋说

ASML正式出货的第一台EUV是NXE:3100,时间是2010年。最早的EUV 光刻设备是2006年出的样机ADT,不卖的。

而上世纪末的产品是DUV,ArF准分子激光,波长193nm。

所以,如果说它把DUV笔误成了EUV吧,但它的波长又没说错,EUV的波长确实是13.5nm

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