主题:【讨论】发到河里来,让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子
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那本书是对的,早期几乎所有的人都乐观的认为EUV会快速商业化。
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96年的时候朗讯的原型机已经几乎定型
https://doi.org/10.1116/1.588618
就是这篇文章里提到的这台。
但是没想到pre-pulse laser irradiation 这个技术卡了整整15年。
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等到Cymer解决了这个问题,光源功率立刻就达到了120W
ASML随即做出了产品。
然后解决了锡的污染问题,就是你提到的商业化成品NXE3100了
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说真的,要不是这么一卡,大概率没有浸没光刻的事,可能我们现在已经直奔EBL了。
技术的发展是充满了偶然与巧合的,商业上需求的技术,可能在学术上有几种甚至几十种在排队竞争,某些学术竞争背后涉及到的商业利益是非常庞大的,把某个大组拖个几年后腿就可能改变整个人类的科技走向。
通宝推:exprade,
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压缩 5 层
🙂你也只是了解了半个 3 达菲 字478 2023-06-06 14:02:40
🙂我的信息来源是正式出版物 12 qq97 字479 2023-06-06 21:54:49
🙂唉,它这个错误我都不知道咋说 3 达菲 字304 2023-06-06 22:49:37
🙂EUV光刻机商业化被卡了15年
🙂文章里的原型机在哪,没看到啊? 5 达菲 字1336 2023-06-07 05:33:37
🙂国内的EUV有没有到别人1996这个水平暂且不知道 2 狙个梨子 字682 2023-06-07 06:48:28
🙂你这两帖不是前后矛盾么 1 达菲 字343 2023-06-07 08:49:55
🙂你这么了解八十年代的芯片配套企业 偶尔路过 字898 2023-06-06 10:07:34