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主题:【讨论】发到河里来,让大家看一下这个才叫好帖 -- 狙个梨子

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家园 文章里的原型机在哪,没看到啊?

1996年朗讯与美国国家三大实验室合作,造出了栅极长度75nm至180nm的N型MOS晶体管,其栅极长度是由EUV光刻技术确定的。

啥意思呢?就是说用EUV可以干活,并超越当时的DUV最佳制程250nm。这是一个实验室产品。能不能商业化,朗讯自己都没信心,后来又去搞0.004nm 的EBDW或EPL去了,连着把尼康、IBM也坑了。

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1997年英特尔看到了DUV跨越193nm的巨大难度,说服克林顿政府,与美国能源部一起牵头,发起了EUV llc联盟,集合了当时还很牛逼的摩托罗拉、现在也很牛逼的AMD,美国三大国家实验室——劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室以及桑迪亚国家实验室,从理论上验证EUV可能存在的各种问题。

联盟在1997年至2003年,发表了几百篇论论证了EUV的商业可行性,注册了大量专利。

ASML是在1999年加入的,到联盟解散的时候,193nm已经取得突破,与台积电已经做到90nm。

此时对于,ASML来说,EUV继续干还是不干?又干了近10年才拿出样机,为的就是干死尼康,独霸全球。

ASML光每年研发就要投入10亿欧元,不得不拉入英特尔、三星、台积电防范风险。

1998年的报道,一台EUV机子只卖1400万美元,显然估计严重错误。

通宝推:达雅,
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