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主题:想了解一下,有做镓氮类半导体生长/工艺的同行吗? -- vcu

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家园 想了解一下,有做镓氮类半导体生长/工艺的同行吗?

突发奇想,想通过cchere认识一下研究镓氮类半导体的朋友,请教问题,互通看法。

家园 可惜不做III-V。
家园 我有做一些GaN的MOCVD生长

呵呵:)

家园 me too!

阁下在国内吗?你们做sapphire, sic 还是si衬底?直接生长还是侧向生长?

呵呵,俺在H.Morkoc的group,幸会,幸会!

家园 我不在国内

我们主要用Sapphire,也有两个Staff用Si做。还有一个哥们比较猛,直接上GaN衬底了,呵呵:)

家园 your group is perfect:-)
家园 晚生后辈来此报到

马上要出国

出去估计也是做这个方向

先来这里点个卯

拜见诸位前辈!

家园 中间过渡层

Si基板上的过渡层是?

家园 我们是用AlN做Buffer Layer的。
家园 大家都是同学,呵呵:)送花!
家园 The boss is kind of push :>
家园 我们的AlN一直没有优化好

俺们长AlN buffer一直是一个比较头痛的问题,可能跟系统比较老有关,用高温+极低流速的NH3也长不出step flow mode。不知道你们怎么样?

另外,很想知道你们有没有试过SiC衬底,或者某些特殊的nano-rods(pits)衬底?

家园 别客气,大家一起交流交流

来美国?还是日本,欧洲?

家园 ft,终于回来了

前两天地震竟然把海底光缆废了

想去美国

当然能不能去是严重依赖人品的事情

家园 只是AlN吗

有没有做别的氮化物的?

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