主题：想了解一下，有做镓氮类半导体生长/工艺的同行吗？ -- vcu
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俺们长AlN buffer一直是一个比较头痛的问题，可能跟系统比较老有关，用高温＋极低流速的NH3也长不出step flow mode。不知道你们怎么样？
另外，很想知道你们有没有试过SiC衬底，或者某些特殊的nano-rods(pits)衬底？
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🙂中间过渡层 南越 字20 2006-12-26 06:29:19
🙂只是AlN吗 南越 字22 2006-12-28 21:06:28
🙂我们是用AlN做Buffer Layer的。 imres 字0 2006-12-26 07:32:36
🙂我们的AlN一直没有优化好
🙂可惜不做III-V。 闲看蚂蚁上树 字0 2006-12-25 22:58:47