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主题:【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其

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家园 28 nm 也不可能是一次曝光吧

DUV 光刻机用的光波长193nm,这波长水的折射率 1.44,水中波长134nm 。

28 nm 远小于波长一半,而且要清晰边缘。。。怎么可能一次曝光。

wiki : 湿式光刻

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