主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之
前身是做asic设计的。design house 好弄,fab难搞。
他们和CHARTER的联系应该很多吧?
大学同学在那里当SVP,管CVD,去年卖给SMIC两台后就给AMAT告了。这回跟TSMC是我第二次听说他们卖出东西。这个也算不上什么抄了,毕竟这帮人03年就离开AMAT去搞这摊子了。当初AMAT不管他们,等他们一卖出去才行动,本来就是为了市场目的的。过去这些年半导体技术上没什么革命性的突破,5~6年前的东西按roadmap外延一下也就行了。
当初台湾、韩国人毕竟是在美国公司里面都做到高层了,对于大规模半导体生产了解了才回去做的。实验室里跟线上差别是很大的。
Karl Suss在aligner时代是很强,但现在是stepper的天下,ASML靠浸水占了70%以上的市场。ASML目前最重要的两家供货商是Zeiss和Cymer。
有IBM license 的45nm 逻辑工艺在研发当中。
在新加坡。
http://www.amec-inc.com/about/Corporate_Fact_Sheet.php
楼下的说总部在中国,我不清楚。不过今年2月25日的半导体国际上的报道还称,
......
With its corporate headquarters in Singapore, and R&D and manufacturing in Shanghai, China, AMEC has its focus on Asia,
另外,amec是在开曼群岛注册的。呵呵。
难道是要做TSV吗?这个到确实可以是个方向。技术门槛相对会比较低。
amec是在开曼群岛注册的
让人感觉这个公司好象不是很SERIOUS,呵呵
多谢老兄的信息
有人说AMAT比较MEAN,不知道是不是因此人老外跳,呵呵
3D现在这么热。
摘自同一篇报道里的话:
SMIC好像也是在那些小岛注册的,主要是为了税收以及外资优惠方面的便利。另外我看到的中文消息都是说总部在上海,跟我同学聊天时她也从来没提过AMEC跟新加坡的关系。当然我也没专门问这个问题。
尼康和佳能和zeiss的镜头,很多是凤凰代工的。
上海微电子装备有限公司的光刻机简介:
SSA600/10型步进扫描投影光刻机用于集成电路前道工艺,可满足用户100nm工艺节点的需求。该设备采用高性能193nmArF准分子激光光源,结合大数值孔径投影物镜和离轴照明技术,可实现高分辨率和高工艺稳定性;可变数值孔径和多种照明模式可满足不同光刻分辨率和焦深要求;大曝光视场、快速对准技术和高同步扫描速度,可实现高生产率、高性能掩模对准和硅片对准技术以及高精度工件台掩模台控制精度,可满足高套刻精度要求。
SSA600/10型步进扫描投影光刻机具有以下优良特性:
高性能193nm ArF准分子激光光源
高性能投影物镜系统,最大数值孔径0.75
支持离轴照明等多种分辨率增强技术,最高分辨率100nm
高速全场对准和高速同步扫描曝光实现高产率
高精度掩模对准和硅片对准系统,对不同硅片工艺具有良好的工艺适应性
高精度六自由度掩模台/工件台定位控制系统
高性能、高可靠性、低生产成本(COO)
什么狗屁专利,中国人不鸟它