主题：工业和信息化部官宣：新一代DUV -- dudu8972
家园 上海微电子公开“极紫外辐射发生装置及光刻设备”的发明专利 家园 【讨论】套刻精度是什么意思 是指能生产7nm 芯片吗？
家园 这个是套刻精度 对应着工艺大约是45nm。但是如果用上基于软件的衍射修正，可以到28nm，如果用上多重曝光，最高到14nm也是有可能的。
不过对28nm，一般不会如此大动干戈。
中国目前公布的东西，敌人一定会拆解其中的每一个部件，有可能的话制裁其中的每一个供应商以及供应商的供应商，因此此时公布的光刻机，一定是敌人无可奈何的，挡无可挡的。
两岸猿声啼不住，轻舟已过万重山。
- 复 这个是套刻精度
家园 有猜测说，这个公布的全国产 更先进的没有做到全国产，一些关键零部件还需要进口，所以暂时不公布。
不知道是不是真的。
家园 三个一代是传统技能了 开发一代、储备一代、研究一代。
作出那个猜测的，估计也是有一定年纪的人，或对中国旧时或者说现在国企科研产业作风比较了解。我认为可信性很高。
- 复 这个是套刻精度
家园 28nm是个节点，平面工艺尽头，再往下是finfet 这个机器最多能让65到40 白菜化， finfet没法白菜化。
还是得等浸润duv
家园 前提是产能和良率能达到量产的标准 才能把65做到白菜。另外，8nm的这个Overlay性能，基本上是不能做两重和两重以上曝光的
- 复 这个是套刻精度
家园 28已被超越？ 陈王河友这话，很是令我想入非非。
不过对28nm，一般不会如此大动干戈。
项立刚今天的文章说：软件有了，见源有了，工作机台有了，后面的就是水到渠成的问题。深以为然，国产机线正成实用化，超越的路就走了99步了，最后一步，只要走，总结走过去的。
我不在意是28，45，还是90，这个是面子，不是里子。整个系统独立可控的建成，才是里子。
- 复 这个是套刻精度
家园 这能说明我国28nm可以自主了吗 要是能的话，绝大部分工业芯片和几乎所有的国防芯片就自主了吧
家园 套刻精度 套刻精度英文叫Overlay，是当层跟前层的对准精度，跟线宽(英文叫Critical Dimension)不是一回事