西西河

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收藏小专题：光刻机方面我们稳了 / 1
真理 2020-04-08 10:34:47🙂看来光刻机方面我们稳了 ↑20 ↓0
首先并不存在什么14/10nm的光刻机。 所谓的22nm光刻机，应该是指使用193nm Arf光源的浸入式光刻机，也就是DUV，是各大芯片厂商都在用的光刻机。这是除了ASML的EUV以外世界第二的水平。这个机器的实际光刻精度好像只有38nm。但有了这个就能靠多重曝光做28nm，1 ...

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