主题：等着看大戏 -- 胡里糊涂

所有芯片厂都连在这一个巨大光源上，不大现实啊。。。

1. 光源要维护或故障时，所有芯片厂都趴窝啊。。。大光源故障几率，维护要求必然比小光源高啊。

2.发光效率，现在EUV 光源是二氧化碳激光（下一代可能半导体/光纤激光)打在金属液滴上产生EUV，二氧化碳激光器效率可达50%，半导体激光低些，但也是百分之几十的量级，即使金属液滴产生EUV 效率低些，总体发光效率也是1%的量级。。。那么庞大的自由电子激光器，加速器，储存环，发光交替磁场，庞大管道的高真空系统系统，哪个都是耗能大户。。。发光效率。。。科研还行，生产？？？

3. 物理上，各种材料高度吸收EUV 光，现在的反射镜部件（不能用透镜，只能反射）反光效率只有50%量级，其余光被吸收。。。用一个超大EUV 光源，头几个分光镜，反射镜立马被激光打坏。。。