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主题:【整理】芯片败局 -- 拿不准

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家园 会不断有好消息的。

消息来源2023年度吉林省科学技术奖提名项目【公示】

EUV整体技术突破

极紫外光刻光学技术

吉林省科技进步一等奖

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

EUV物镜相关技术

复杂曲面光学元件高精度磁流变抛光技术

吉林省科技进步二等奖

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

EUV光刻机多层膜光学元件表面污染防控及无损清洗关键技术

吉林省科技进步二等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

超高精度光刻机投影物镜系统波像差检测技术

吉林省技术发明二等奖中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

通宝推:梓童,桥上,
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