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转个当年报道：

精密仪器系研制成功

ZLJS一75型自动调焦紫外曝光分步重复照像机

在北京市科委的领导和支持下,我校精密仪器系研制成功ZLjS一7 5型自动调焦紫外曝光分步重复照像机( 简称铬版精缩机),

并于1 9 8 2年 11 月在北京通过技术鉴定。

经北京半导体器件 二 厂、1425所、774厂等使用,性能良好,结构合理、操作方便。

与会专家们认为:

这是我国第 一台具有微米加工能力的自动调焦紫外曝光精缩机,填补了国内空白,适应我国电子工业大规模集成电路、中小规模电路及某些微波器件生产的急需,主要指标已达到国际同类产品水平。

这项科研成果是精密仪器系在北京市器件工厂协助下,在十余年研制激光定位自动重复分步照相机、自动对淮光刻机等大规模集成电路生产工艺设备基础上完成 的。

这台设备采用了高精度的精密机械定位系统,先进的自动调焦系统以及高分辫率的紫外投影曝光系统,可保证在3英时版面上制作线宽1um的精细图形。

然后没然后了，改开的春风一吹，自主项目都停摆了，我们积累的经验被彻底清零。