主题：人生的三原色：你我想做什么，能做什么，必须做什么 -- jent
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365nm的光源做到22nm的线宽，但是在多层之间的overlay（套刻精度），depth of foucus （焦深）和throughput（效率），等问题没有解决之前，显然目前不能量产在超大规模集成电路的制造中
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🙂还是聊技术省心点，比如光刻机 2 赵美成 字371 2018-12-03 05:02:58
🙂我了解到的情况：有前途，可用于IC 9 瓷航惊涛 字143 2018-12-04 02:41:19
🙂嗯：技术路线不同，目标客户不同，应用领域不同 10 jent 字347 2018-12-03 06:12:57
🙂surface plasma的技术让
🙂正好今天看到 1 小科 字123 2018-12-03 05:32:56
🙂我先泼个凉水，网上有自称光电所的说了此22非彼22 6 白浪滔天 字186 2018-12-03 05:12:45
🙂国内理论研究已达7nm，光栅。 1 河友一名 字0 2018-12-04 01:32:27
🙂至少要能做mos才行吧 赵美成 字33 2018-12-03 05:36:54