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主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 应该要做的。

3D现在这么热。

摘自同一篇报道里的话:

......said AMEC CEO Gerald Yin. “Our key customers are very aggressive about 3-D devices with through-silicon vias. We want to adapt our technology to etching the deep trenches. I see through-silicon etching happening for us this year or next.”

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