主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之
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Karl Suss在aligner时代是很强,但现在是stepper的天下,ASML靠浸水占了70%以上的市场。ASML目前最重要的两家供货商是Zeiss和Cymer。
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🙂ASML的背后叫zeiss。看看这三个名字? 龟途漫漫 字126 2009-03-04 09:16:42
🙂这三个是光学镜头的顶尖高手 大龙猫 字56 2009-03-04 11:41:26
🙂光刻机karl suss, not zeiss 龟途漫漫 字0 2009-03-04 13:49:59
🙂这是老黄历了
🙂zeiss SMT jent 字1111 2012-11-19 06:36:00
🙂除非不走光学路线 1 时常数 字404 2009-03-04 13:31:04
🙂见过电子束用于金属表面抛光的,那是相当的光滑啊。 山海马甲 字0 2014-07-14 05:25:00
🙂这些好像技术上还不成熟 江淮客 字74 2009-03-04 21:48:15