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主题：【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之
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不是high k/metal gate的。45nm用high k/metal gate的好像只有intel。
估计是300mm的。我想tsmc现在不会再上200mm设备。
看新闻，该设备用的是等离子。不用区分fluorine 或者 chlorine 吧。
- 相关回复 上下关系8
🙂what type of etcher it is vcu 字269 2009-03-05 06:36:51
🙂tsmc的45nm工艺
🙂随便说一点自己知道的 江淮客 字235 2009-03-04 21:42:32
🙂光刻机还是基础问题 6 财迷心窍 字193 2009-03-03 19:48:22
🙂难道你不知道中国是一个代工大国吗？镜头也一样 河里洗澡的鱼 字45 2009-03-11 20:50:19
🙂ASML的背后叫zeiss。看看这三个名字? 龟途漫漫 字126 2009-03-04 09:16:42