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主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 tsmc的45nm工艺

不是high k/metal gate的。45nm用high k/metal gate的好像只有intel。

估计是300mm的。我想tsmc现在不会再上200mm设备。

看新闻,该设备用的是等离子。不用区分fluorine 或者 chlorine 吧。

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