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主题:【原创】中微半导体45纳米蚀刻机 -- 可梦之

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家园 这个好像不是光刻机吧?

蚀刻,应该是用光刻后的过程了,实际上,整个流程里面,每一步都是很关键的技术。

光刻胶的材质和涂刷,很关键。

光刻musk的制作,很关键

光刻工艺,很关键

光刻好的蚀刻,很关键

能把这些全都搞定,那就是整个一个体系的提高了。

现在在蚀刻机上有了突破,那是很好的事情。

千里之行算是始于足下了。

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